ハイライト
Semitron™ MPR1000の事例
弊社は、お客様がエッチングツールのバキュームチャンバーで使用されるポリイミド（PI）部品の早期浸食を克服できるよう支援しました。
お客様のメリットを考慮した弊社の業界に関する知識と将来を見据えた取り組みの結果、要求の厳しい半導体のエッチング処理に適した強化PAI材料を開発しました。
共同作業により、実際の用途で積極的に機能のベータテストを行いながら、仕様を満たすように新しい材料を改良することができました。その結果である独自の強化ポリアミドイミドSemitron™ MPR1000は、通常のポリイミド（PI）より持続期間がはるかに長い酸素クリーニング浸食耐性を実現しています。
業界：半導体・電子工学、チップ製造
ソリューション：高強度・高純度配合物を使用した信頼性の高い部品を作るための新しい先端材料の開発
製品：Semitron™ MPR1000（強化ポリアミドイミド（PAI））
結果：強度と酸素クリーニング耐性が向上した部品によって、ダウンタイムを短縮、計画メンテナンスサイクルの頻度を低減
部品の完全性の向上による継続生産の実現
大手の半導体処理機器メーカーでは、酸素クリーニング浸食の早さとバキュームエッチングチャンバーで使用されるポリイミド（PI）部品の破損が発生していました。使用している材料の劣化によって汚染の問題が起こり、生産を停止して早期の計画メンテナンスを行うコストが生じていました。
必要となる強度と純度の標準を満たし、かつツールの最適な動作可能時間を実現するのに必要な厳しい酸素クリーニング処理にも持ちこたえる部品を作る必要がありました。
先端材料開発への先進的な取り組み
弊社の業界に関する知識と将来を見据えた取り組みにより、エッチングツール処理とクリーニングプロトコルに対する耐久性があり、必要な計画メンテナンスの頻度を少なくし、ツールの最適な動作可能時間を実現する、新しい革新的なポリアミドイミド材料の開発に既に着手していました。
製造装置メーカーのエンジニアリンググループとの連携により、実際の用途で積極的に機能のベータテストを行いながら、仕様を満たすようにこの材料を改良することができました。
その結果である独自の強化ポリアミドイミドSemitron™ MPR1000は、部品を保護し、通常のポリイミドより持続期間がはるかに長い酸素クリーニング浸食耐性を実現しています。
生産遅延を減らし、コストを削減
製造装置メーカーとのパートナーシップの下で開発された新しい材料によって、高度なポリアミドイミド（PAI）の配合における新しい取り組みが可能になり、お客様の生産ダウンタイムの問題が解決されました。
テストでは、Semitron™ MPR1000は、市場で入手入手可能な通常のポリイミド材料よりも、イオン浸食容量やガス放出が少なく、標準のエッチング真空ツール環境での数時間のサイクル後でさえも生成される汚染が少ないことが立証されました。加えて、Semitron™ MPR1000製の部品は、10から15倍も寿命が長いことが示され、計画メンテナンスが必要になるまでのツールの動作可能時間が期待どおり長くなります。
部品にSemitron™ MPR1000を使用することで、製造装置メーカーの仕様に沿って機器を稼働させるのに役立つだけでなく、ダウンタイムを90%改善してウエハー処理能力を劇的に向上させることができました。
- エッチングの酸素クリーニング浸食環境における寿命を延ばす
- メンテナンスコストを削減する
- 計画メンテナンスサイクル間の生産動作可能時間を増やす
弊社の幅広い高度な高機能材料と用途に関する確かな専門知識によって、お客様が幅広い電子工学および半導体用途で工程におけるばらつきを排除し、リスクを低減して、コストを削減するために必要とする、最適なソリューションをご提供します。
