Semitron® MPR-1000
Polyamide-ImideSemitron® MPR 1000 型材具有良好的耐热性，在等离子体室中渗气性低且侵蚀率低。这种离子含量低的高纯度材料通常被选择用于半导体和电子工业中蚀刻、CVD 和离子植入细分领域的真空室应用。
Semitron® MPR 1000 的使用寿命比传统材料长，例如在某些情况下，其在臭氧中的使用寿命比 PI 高 25 倍以上。由于使用寿命长，其被指定用于真空室应用所用的传统材料，比如石英、陶瓷、PI 和其他工程塑料。
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产品信息
材料性能
- 低离子含量和低渗气性
- 良好的耐热性
- 等离子腔体内侵蚀速率较低
- 理想的抗碎性、耐久性和机械加工性
- 定制用于高要求腔体内应用
提供的几何结构
Semitron® MPR-1000 型材包含以下几何结构中的一系列标准尺寸：棒, 板
提供的颜色
Semitron® MPR-1000 型材包含以下颜色：products.itemGroup.color.9063
地区可用性
产品、形状和颜色的可用性可能因地区而异。
文档
更多法规文件和缺席声明可在法规事务页面找到。
