Semitron™ MPR-1000

Semitron™ MPR 1000 型材具有良好的耐热性，在等离子体室中渗气性低且侵蚀率低。这种离子含量低的高纯度材料通常被选择用于半导体和电子工业中蚀刻、CVD 和离子植入细分领域的真空室应用。

Semitron™ MPR 1000 的使用寿命比传统材料长，例如在某些情况下，其在臭氧中的使用寿命比 PI 高 25 倍以上。由于使用寿命长，其被指定用于真空室应用所用的传统材料，比如石英、陶瓷、PI 和其他工程塑料。